昆山狹縫式涂布機(jī)-簡(jiǎn)述自動(dòng)熱固化涂布機(jī)步驟
(1) 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機(jī)后面的電源插座。
(2) 將涂布機(jī)插頭插入110V的電源插座，然后按下[POWER]鍵。 ? ?
(3) 設(shè)定旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速及時(shí)間，本機(jī)型為二段式加速的Spin Coating，右邊為一段加速，左邊為第二加速。 ??
(4) 依不同尺寸的基材，可更換不同的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)做徒步的動(dòng)作。 ??
(5) 按下[PUMP]鍵，此時(shí)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)會(huì)吸住基材，然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開(kāi)至適當(dāng)?shù)牧浚谧龉庾柰块_(kāi)動(dòng)作時(shí)可先用氮?dú)鈱⑿D(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)周?chē)盎拇登瑑簟?? ?
(6) 蓋上涂布機(jī)的保護(hù)蓋，以防止光阻濺出涂布機(jī)外。 ??
(7) 按下[START]鍵，涂布機(jī)便開(kāi)始做涂布的動(dòng)作。 ? ?
(8) 涂布完畢后，打開(kāi)保護(hù)，按下[PUMP]鍵旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)會(huì)放開(kāi)基材，便可以將基材取出。
